照射的紫外線量波長(zhǎng)一般為365nm和高壓汞燈、金屬鹵化物燈等紫外線燈、UV-LED、黑光燈（熒光燈）用作紫外線照射設(shè)備的光源。

照射方法有兩種：一種是照射部移動(dòng)并掃描晶圓，另一種是一次性照射整個(gè)晶圓。

另外，部分設(shè)備還配備氮?dú)獯祾吖δ?，防止氧氣造成的固化抑制，使紫外線均勻照射，使膠帶固化，防止后處理中晶圓缺陷和損壞。

最佳照射條件根據(jù)所使用的切割膠帶和光源的不同而不同，因此需要選擇與生產(chǎn)條件相匹配的紫外線照射裝置。

涂布機(jī)、步進(jìn)機(jī)等曝光設(shè)備一般采用UV燈光源作為光源。 UV燈光源因其可以提供多種波長(zhǎng)且易于獲得大量光而被越來(lái)越多地使用，但另一方面，它們往往壽命較短且運(yùn)行成本較高，因?yàn)樗鼈儽仨毷冀K保持在有人擔(dān)心啟動(dòng)時(shí)間較長(zhǎng)，導(dǎo)致工作效率下降，并且含有汞，會(huì)造成環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)。

我們的UV-LED光源裝置可以解決這個(gè)問(wèn)題。我們開(kāi)發(fā)的它具有與紫外燈光源在相應(yīng)頻率（如 365nm 和 405nm）下獲得的相同的照射面積和均勻性。

在半導(dǎo)體制造工廠和FPD制造工廠使用的曝光設(shè)備中，我們?cè)趯V燈光源替換為UV-LED光源方面取得了許多成果，并且由于更長(zhǎng)的壽命而實(shí)現(xiàn)了運(yùn)行成本的降低和早期啟動(dòng)。